晶萃光学JCOPTIX提供高精度直驱旋转台。该直驱旋转电机采用电磁直接驱动,省去了动力传动系统中的复杂繁琐的机械部件,并将驱动力无摩擦地直接传递到旋转台,可实现高速度和高加速度。
无刷无槽电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,即使在最低的速度下也能保持优异的速度稳定性,同时,在高速状态下也不会产生振动,避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制;具有极高的力的线性度,可任意设定和严格控制驱动力。
DORR系列旋转台采用低断面设计同时具有高力矩,选用精密交叉滚柱轴承和高精度编码器反馈系统,具备非常优秀的动态性能和定位精度,分辨率高达1.5 µrad,360度连续旋转且最大转速为200 rpm。
旋转台采用中空设计,中心为SM1螺纹孔,通光孔径 Ø25 mm,可用于安装Ø1英寸的光学元件;台面设置有4-40的螺纹孔,可用于兼容30 mm同轴系统,同时设置有M6和M4的螺纹孔。
产品主要应用在半导体技术、计量、自动化、生物样片加工及观测,膜层厚度测量等需要角秒级定位精度的应用场景。同时可根据客户需求,研发,制造更高精度、更加灵活的系统解决方案。