影像检测设备可搭载光谱共焦位移传感器、线激光/光谱传感器等多种传感器,实现Z向尺寸高精度测量,2D/3D轮廓扫描,轮廓比对分析等功能
● 高精度:最高测量精度可达1.5+L/200μm
● 高速度:直线电机驱动,移动速度最高可达600mm/s,加速度最高可达3000mm/s²
● 测量功能丰富: 具备全面的几何量尺寸,形位公差测量,三维形貌分析功能
● 移动龙门式结构:测量平台不运动,传感器三轴运动,保证高速测量时的精度
● 测量稳定:具备自动对焦、自动定位及自动测量功能,测量结果稳定可靠
● 使用简便:测量测序编写改动简单快捷,软件操作易学易用
