静电吸盘(ESC)是半导体工艺中的硅片夹持工具。ESC以静电吸附为基本原理在施加外部高压后,通过静电吸盘对硅片的库仑吸附力或J-R吸附力来固定硅片的。

选择隐冠的原因

1. ESC和定制控制器由单一供应商提供，确保系统性能良好。 2. 最小化脱夹时间，提高ESC操作效果。 3. 在晶圆加工过程中保持均匀和恒定的夹紧力。