激光干涉仪是利用激光作为长度基准，实现高精度、高灵敏度的位移测量仪器，广泛应用于高端制造/超高精度测量领域。

● 高精度:分辨率1pm,平均系统误差低于0.19ppm

● 大距离测量:高达5m,最大可定制到30m

● 环境补偿单元单元(ECU):监测环境参数,保证测量精度

● 结构紧凑,配置三个传感器头,安装简单,非常适合设备集成

● 应用广泛,可测量加工中心、三座标等的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）,并可应用于震动监测、振动频率分析、微制造、微轮廓测量等方面