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双台面运动系统

产品类别：光学测量系统
产品属性：新品（非首发）
应用领域：半导体、航天/航空、光学、工具制造/工程机械、医疗/生物技术、非大学研究机构、高等院校

双台面 · 重复定位精度达 1μm

高精度直线电机位移台，配双台面，每个台面均能在行程内独立运动。配合高性能控制器，可编程进行交互运动。

四川菲克科技有限公司

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