电容式微位移传感器基于电容电极间均匀电场变化时电容值的变化量来实现纳米级位移的精确测量。该系列产品可实现非接触测量，保证了极高的测量分辨率、线性度以及高测量带宽，满足各种应用场景下纳米级的测量需求，能在恶劣的环境条件下工作。