薄膜测量技术在晶圆检测中的应用 ：快速位置测量与缺陷定位。晶圆定位的运动解决方案，以便高效测量晶圆的关键特性。
该运动解决方案的主要特点包括可重复的快速步进与稳定运动、可靠且高质量的大规模生产、符合ISO 14644洁净室5级标准、先进ACS控制功能：龙门控制，2D映射 、遵循全球设计和计量标准。
θ轴 – 晶圆或基板的精细旋转分度和对准;Z轴–精密晶圆对准。此外，通过EtherCAT®运动控制和驱动模块提供开放式网络连接，先进算法提供快速步进和稳定、高就位稳定性以及出色的恒定扫描速度，实现灵活轻松的自动化控制。
