适用于各型号进口干涉仪配套球面标准镜、平面标准镜,使仪器扩展使用范围,满足高精度面形精度的检测需求。 参考标准平面的面形偏差(PV)值小于0.03μm(λ/20)各参考标准球面的面形偏差(PV)值小于0.03μm(λ/20) 下载产品资料