本公司生产的AURA@0511系列石英玻璃,以高纯四氯化硅为主要原料,采用先进的CVD2.0工艺炼制而成,纯度可达99.9999%,具有杂质含量低、紫外波段透过率高、光学均匀性好、热稳定性强、化学稳定性好、耐激光损伤等特性。可广泛应用于光掩模版、航空航天、精密仪器、激光元件、半导体晶圆及光刻设备等领域。
本公司生产的AURA@0511系列石英玻璃,以高纯四氯化硅为主要原料,采用先进的CVD2.0工艺炼制而成,纯度可达99.9999%,具有杂质含量低、紫外波段透过率高、光学均匀性好、热稳定性强、化学稳定性好、耐激光损伤等特性。可广泛应用于光掩模版、航空航天、精密仪器、激光元件、半导体晶圆及光刻设备等领域。
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