产品功能：透光材料内应力分布测量及缺陷筛查

检测对象：三代化合物晶圆片、精密光学元件（平晶、棱镜、波片、透镜等）

面向行业：化合物晶圆生产、光学精密加工

技术特点：基于偏振相机的应力测量模型可以实现瞬时测量，快 速显示应力二维分布伪彩图。

采用双远心检测光路，相位延迟测量精度高

根据不同测量视场要求，多种镜头可选

订制化晶圆样品托盘，适应2-8寸晶圆批量测试