生产级别晶圆探测和光子学测试:主动对准,高占空比
PI提供了基于不同电机、导向和传感器技术的先进运动解决方案,可以满足快速、24/7、自动化运行的需求。通过独特的专有对准算法,这些解决方案可实现任何品质因数的并行优化,从而将生产效率提高100倍以上。
该运动解决方案的主要特点:
生产级别自动化光子学对准
生产效率提高100倍
24/7运行,性能可靠
适用于极其洁净的应用领域
极低的拥有成本
任何品质因数均可优化
1)XYZ轴 - 光纤到光纤或光纤到波导对准
无摩擦、免维护空气轴承设计,用于24/7高占空比应用音圈直接驱动电机,可实现平稳运行、高动态与快速步进和稳定、用于准确定位的集成线性编码器、创新紧凑型XYZ设计,节省集成空间、集成Z轴平衡装置,可实现垂直操作,同时将对平台外形的影响降至最低
>> 带空气轴承的A-142 PIglide音圈线性平台
2)θZ轴 - 光子器件的精密旋转定位
高精度且可重复的360度旋转,无空回、直接驱动电机技术,运行平稳而精密,无齿槽效应、高动态无刷力矩电机、高精度绝对或增量编码器选配件、低外形设计,节省集成空间
3)用户友好且灵活的自动化控制
高性能工业控制器,具有板载基于ACS的对准算法、专有固件提供用于首束光检测的快速区域扫描算法,以及用于峰值耦合的梯度和质心算法、软件支持常见操作系统,以及多种编程语言(包括MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW)
>> A-81x PIglide运动控制器