AFM全称Atomic Force Microscope，即原子力显微镜，它是继扫描隧道显微镜（STM）之后发明的一种具有原子级高分辨的新型仪器，可以对各种材料和样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测，或者直接进行纳米操纵。现已广泛应用于各种纳米相关学科的研究实验领域中，成为纳米科学研究的基本工具。
AFM探针与样品（导体、半导体、非导体）之间的原子力大小，与两者间距有关。当探针与样品进入原子力状态时，作用于针尖上的原子力推动微悬臂使之产生偏转。此时对样品进行XY扫描，微悬臂的偏转量随样品表面的起伏而变化，采用光杠杆方法将偏转量放大从而获得偏转量的大小，即可获得样品表面的微观纳米形貌。
