盘式电机模组

产品类别:传感器、测试测量 > 光学测量系统
产品属性:普通产品
应用领域:半导体

盘式电机采用扁平化设计,采用无铁芯盘式电机直接驱动负载,配合高精度交叉滚子轴承和高分辨率编码器,全闭环控制可实现高精度行走精度及运动定位精度。

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