现实增强技术，包括AR眼镜和ARHUD，都属于将虚拟信息与现实场景结合起来的显示技术。其中起到核心作用的是对光学信号传输和控制的光波导元件。衍射光波导是一种基于衍射原理的光波导技术。PHABLE系列光刻机与刻蚀方案结合，能够生产更高精度和更复杂光学功能的光波导元件。

PHABLE光刻机是一种高分辨率、高精度的光刻设备，可以用于制造微纳米级别的光学器件。设备能够高效率曝光一维、二维周期性结构，周期分辨率及均匀性优于0.1nm。适合大面积的纳米光波导的生产。