光子器件的测试与装配

快速多通道主动对准

      光子结构或元件(如波导、光电二极管、激光器和多路复用器)的集成给测试和组装过程带来了各种苛刻的挑战,这种挑战从晶圆级别持续到最终封装阶段。共同的主题:多条通道、多个元件、多交互输入和输出、跨多个自由度,所有这些都需要多重对准优化。传统上,这项工作非常耗时,且成本高昂。但是,PI的多通道光子学对准(FMPA)系统和内置于控制器中的独有对准算法,可实现跨通道、设备和自由度的同步对准,从而一步快速优化整体对准。与串行操作相比,对准时间成本可降低99%。

 


      该运动解决方案的主要特点:已经验证且屡获殊荣的主动对准技术;跨多个通道、I/O、元件和自由度的同步对准;并行处理可实现100倍于串行操作的速度;对准时间成本降低99%;对长时间工艺步骤的可靠跟踪;优化任何品质因数。

      (1) XYZ/θX/θY/θZ轴 - 光学部件的亚微米级对准

  • 并联运动六足位移台,可在六个自由度上进行对准

  • 高刚性机械设计提供高动态性和短稳定时间

  • 可自由定义的旋转中心允许灵活对准

  • 位置传感器可确保高精度和运行可靠性

  • 紧凑型设计,节省集成空间

  •       (2)XYZ轴 - 光学部件的纳米级对准

  • 可在所有空间方向上实现高刚度的并联运动压电系统
  • 机械设计提供高达100赫兹的扫描频率以及快速跟踪
  • 零游隙柔性铰链导向可实现高导向精度而不会产生任何磨损或颗粒
  • 集成传感器提供出色的运动线性度和长期稳定性
  • 全瓷绝缘压电陶瓷促动器,具有超长使用寿命
  •     (3)户友好且快速的自动化控制

  • EtherCAT接口可快速集成到具有高处理能力的工业系统中
  • 高性能工业控制器以毫秒级响应速度自动执行内置扫描和优化
  • 基于用于首束光检测和用于峰值耦合梯度搜索的快速区域扫描算法,专有固件可实现快速对准
  • 软件支持常见操作系统以及许多常见编程语言,包括MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW
  • 使用PIMicroMove软件,可快速启动且易于使用
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