光子器件的测试与装配
快速多通道主动对准
光子结构或元件(如波导、光电二极管、激光器和多路复用器)的集成给测试和组装过程带来了各种苛刻的挑战,这种挑战从晶圆级别持续到最终封装阶段。共同的主题:多条通道、多个元件、多交互输入和输出、跨多个自由度,所有这些都需要多重对准优化。传统上,这项工作非常耗时,且成本高昂。但是,PI的多通道光子学对准(FMPA)系统和内置于控制器中的独有对准算法,可实现跨通道、设备和自由度的同步对准,从而一步快速优化整体对准。与串行操作相比,对准时间成本可降低99%。
该运动解决方案的主要特点:已经验证且屡获殊荣的主动对准技术;跨多个通道、I/O、元件和自由度的同步对准;并行处理可实现100倍于串行操作的速度;对准时间成本降低99%;对长时间工艺步骤的可靠跟踪;优化任何品质因数。
(1) XYZ/θX/θY/θZ轴 - 光学部件的亚微米级对准
并联运动六足位移台,可在六个自由度上进行对准
高刚性机械设计提供高动态性和短稳定时间
可自由定义的旋转中心允许灵活对准
位置传感器可确保高精度和运行可靠性
紧凑型设计,节省集成空间
(2)XYZ轴 - 光学部件的纳米级对准
(3)户友好且快速的自动化控制