觉芯电子的全自研TS-CCS系列光谱共聚焦位移传感器具有高性能、低成本、大量程等优势,可满足半导体、涂布工业、薄膜片材、运动控制等领域的非接触式位移及形貌检测需求。具有高待测表面适用性与环境稳定性、高重复精度与线性度,且体积小巧。对透明、高反射、非固态对象检测精度远高于其他检测手段,简单配置即可实现高精度形貌检测。控制器带有丰富接口,量程及状态实时显示,可单通道、一拖二、一拖多探头同步探测。
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