高精度六轴并联定位系统

产品类别:传感器、测试测量 > 光学测量系统
产品属性:新品(非首发)
应用领域:航天/航空、半导体

Hexapod六自由度定位台采用六点支撑运动台面,同时Hexapod六自由度定位台的运动实现目标值。

Hexapod六自由度定位台最高重复精度达250nm。Hexapod六自由度定位台产品系列包含从70mm直径微型Hexapod六自由度定位台到1300mm以上大型Hexapod六自由度定位台。最大负载高达17t。同时Hexapod六自由度定位台支持极端环境应用,超大负载应用定制。

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