600mm通用组合水平式检测干涉仪是慧利仪器“大口径相移式激光干涉仪”系列产品之一。该干涉仪可广泛应用于光学平面计量、半导体品圆、半导体掩膜版基板、同步辐射、光刻机光学元件(航空航天折返成像系统、空间光学器件、强激光平板玻璃测量等领域,实现大口径光学表面面形、透射波前、光学樂等参数的检测。它采用经典的斐索型共光路设计,结构简单,在适用于多种被测样品的前提下,使用数字化析方法实现高精度、多功能检测。对于更高性能的指标可以客户特别定制。