动态干涉仪结构紧凑,重量轻,数据采集时间35us,分辨率2448*2048 Pixel,12bit;用于球面及非球面光学元件面形检测,测量大型聚焦光学系统,以及原位过程控制。
动态干涉仪结构紧凑,重量轻,数据采集时间35us,分辨率2448*2048 Pixel,12bit;用于球面及非球面光学元件面形检测,测量大型聚焦光学系统,以及原位过程控制。
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