生产级别晶圆探测和光子学测试

产品类别:传感器、测试测量 > 光学测量系统
产品属性:新品(非首发)
应用领域:光学

生产级别晶圆探测和光子学测试:主动对准,高占空比

PI提供了基于不同电机、导向和传感器技术的先进运动解决方案,可以满足快速、24/7、自动化运行的需求。通过独特的专有对准算法,这些解决方案可实现任何品质因数的并行优化,从而将生产效率提高100倍以上。

该运动解决方案的主要特点:

生产级别自动化光子学对准

生产效率提高100倍

24/7运行,性能可靠

适用于极其洁净的应用领域

极低的拥有成本

任何品质因数均可优化

1)XYZ轴 - 光纤到光纤或光纤到波导对准

无摩擦、免维护空气轴承设计,用于24/7高占空比应用音圈直接驱动电机,可实现平稳运行、高动态与快速步进和稳定、用于准确定位的集成线性编码器、创新紧凑型XYZ设计,节省集成空间、集成Z轴平衡装置,可实现垂直操作,同时将对平台外形的影响降至最低

>> 带空气轴承的A-142 PIglide音圈线性平台

2)θZ轴 - 光子器件的精密旋转定位

高精度且可重复的360度旋转,无空回、直接驱动电机技术,运行平稳而精密,无齿槽效应、高动态无刷力矩电机、高精度绝对或增量编码器选配件、低外形设计,节省集成空间

3)用户友好且灵活的自动化控制

高性能工业控制器,具有板载基于ACS的对准算法、专有固件提供用于首束光检测的快速区域扫描算法,以及用于峰值耦合的梯度和质心算法、软件支持常见操作系统,以及多种编程语言(包括MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW)

>> A-81x PIglide运动控制器

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