1. 概述
ES01系列是ELLITOP针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度快速摄谱型光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到红外。
ES01光谱椭偏仪基于高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件，用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2），也可用于测量块状材料的光学性质。
仪器特点：
快速、精确的椭偏测量与分析
光谱范围根据配置可选，从紫外到红外
步进补偿器扫描测量模式
宽带超消色差补偿器
多象限误差消除方法
ETES功能强大的光谱椭偏测量与分析软件
ETES向导设计，简化操作，适合新手和专家
ETES专有的材料数据库和预设的软件应用程序，简化建模
2. 技术特点
（1） 先进的旋转补偿器测量技术：Delta测量范围0-360°，无测量死角问题，也可消除粗糙表面引起的消偏振效应对结果的影响；
（2） 秒级的全光谱测量速度：全光谱测量典型3-5秒；
（3） 原子层量级的检测灵敏度：可以测量单原子层；
（4） 视频式样品对准：精确完成样品对准，并方便观察，减小人为误差；
（5） 多入射角度调节：多入射角度结构设计，增强了仪器测量的灵活性，尤其适合于超薄样品或复杂的样品的测量场合；
（6） 反射率/透射率测量：对样品进行光谱透射率和反射率测量；
（7） 整体集成机柜：仪器整体集成在一个机柜中，节省占地面积；
（8） 一键式仪器操作：对于常规操作，只需鼠标点击一个按钮即可完成复杂的测量、建模、拟合和分析过程，丰富的模型库和材料库也同时方便了用户的高级操作需求。
